导读：2016年10月9日，从成都高新区获悉，家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目《超光滑表面无损检测仪》正式启动。家科技部高新技术研究发展中心、中工程物理研究院、四川省科技厅、成都市科技局、成都高新区科技局相关负责人以及光学行业相关专家近百人参加了启动仪式。
据了解，《超光滑表面无损检测仪》是家“十三五”重点研发计划重大科学仪器设备开发项目，分别获得家科技部2000万、成都高新区200万元资金支持，有企业牵头，协同内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业形成产、学、研、用相结合的项目团队共同实施。超光滑表面无损检测仪主要用于高精度非接触测量，可以广泛应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片、弯曲度、表面质量等关键参数的快速检测，还可应用于大型现代光学工程系统。据介绍，该项目将通过专项带动，集成内优势力量重点创新，解决高精度超光滑表面无损检测的关键技术瓶颈，实现高端超光滑表面无损检测仪器产化，替代外同类产品，打破外公司的技术垄断和价格壁垒。
成都高新区科技局相关负责人表示，获得家重大科技创新项目立项支持且家拨款资金到位的成都高新区企业，可按照拨资金实际到位额的10%进行配套资助申请，同一项目申请金额高不超过200万元，同一家企业同一年度申请该类资金额度高不超过200万元。
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